CNTを用いたSTMによる低抵抗Siのナノ加工と原理の解明

抄録

MEMS/NEMSの実現には微細加工技術が必要である。その一つに、高分解能で材料表面の測定加工が可能な走査型トンネル顕微鏡（STM）による加工法がある。本研究室ではこれまでにCNTを用いた探針を作製し金薄膜、HOPGへ点加工を行ったが、MEMS/NEMSの実現には低抵抗Siへの点・線加工が必要となる。そこで本研究ではCNT探針を用い低抵抗Siへの線加工を行い、さらに加工原理の解明も試みた。