AFMを用いたSi単結晶のナノトライボロジーに及ぼす環境の影響

抄録

MEMS/NEMSは今後様々な環境下での使用が予想され、その実現にはナノトライボロジーの解明が必要である。そこで本研究では、MEMS/NEMS用材料であるSi単結晶を試料に、様々な環境下(大気・水・加熱環境下等)において原子間力顕微鏡を用いた摩擦・摩耗試験を行い、環境が摩擦・摩耗に与える影響を調べた。さらに、摩擦・摩耗部の透過型電子顕微鏡観察を行うことにより摩耗プロセスの解明を試みた。