大気開放型プラズマCVMにおける加工速度フィードバック制御機構の開発 (第3報)

アクチノメトリー法を用いた反応種密度計測における誤差要因の検討

抄録

大気開放型プラズマCVM法において、加工精度を向上させるためには、バッチ間およびバッチ内における加工速度の一定化が必要である。本研究では、アクチノメトリー法を用いてプラズマ中の反応種密度を測定したところ、加工速度と正の相関が存在し、フィードバック制御機構の開発に適用できる可能性が示唆された。また、加工量および反応種密度の算出において生じる誤差の要因を検討し、測定精度の向上を図った。