エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第15報）

エバネッセント露光における樹脂硬化メカニズムの解析

抄録

本研究では従来の光造形法を超えたSub-μmの加工分解能を実現する為，エバネッセント光を用いた造形法の確立を目指している．先行研究においてエバネッセント露光時における光硬化性樹脂の特異な硬化特性の原因として，樹脂中に溶けている酸素（溶存酸素）による光硬化反応の阻害が挙げられた．この溶存酸素による反応阻害を仮定したモデルにおいて硬化形状を計算機上で再現できることを示し，このモデルの妥当性を確認した．