離型剤と離型処理の違いによるモールドの耐久性

抄録

ナノインプリントリソグラフィはナノパターン成形において非常に有効である。インプリント時に接触させてパターンを形成するが、剥離の際にモールドの破損や光硬化樹脂が付着してしまうので、モールドを表面改質し離型性を向上させる必要がある。モールドの表面改質の際に用いられる離型剤と液相や気相などの離型処理方法を変えることにより、モールドの耐久性にどのような変化が生じるのかを検証した。