2段階UV硬化ナノインプリントによるナノパターン転写

抄録

ナノサイズパターン作製における高スループット、低コストを目的とし、ナノインプリントリソグラフィ技術の応用を考えた。本研究ではインプリント時のUV硬化樹脂をある程度硬化させた後、モールドをプレスし、モールド剥離後に完全硬化させることでパターン転写を行った。これにより、不透明モールドの使用、プレス圧力の低減が可能となる。この手法を２段階UV硬化ナノインプリンによるパターン転写とした。