精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会秋季大会
セッションID: M33
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プラスチック基板上微細金属パターンの変形加工に関する研究
*海野 徳幸佐竹 信一谷口 淳
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抄録
プラスチック基板上に形成するプリンティッドエレクトロニクス(PE)が次世代デバイスとして期待されている。微細金属パターンをプラスチック基板上に形成する技術として、ナノトランスファプリント(nTP)が注目を集めているが、転写されるパターンはモールド形状に制限されていた。本研究では、酸化金属離型膜を用いたnTPによってプラスチック基板上に微細金属パターンを形成した後、変形加工するプロセスを考案した。
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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