レーザインプリント複合加工技術の開発

抄録

透明性，化学的安定性，耐久性等の特性を有するため，光学，エレクトロニクス，医療等多くの分野で用いられるガラス材料の高能率，高精度加工技術としてレーザインプリント複合加工を提案する．同加工技術は，加熱方式を従来のナノインプリント加工技術で用いられる電気ヒータからレーザに置換し，時間・空間的な局所加熱プロセスを実現する複合加工技術である．本報で加工原理の紹介，実験装置の試作，複合加工の実証を行う．