高機能性を有するマイクロ無痛針の最適創製条件の探索

抄録

無痛性，高剛性，低管摩擦を満足する外径95μmに内接する正5角形状を有する内径44μm，長さ5mmの針が最適形状であると算出された．著者らはスパッタリング法を用いてTi製の針の開発に成功していることから，ワイヤ基材の回転速度変化による成膜速度変化を利用した正5角形状断面の針の創製が課題である．そこで針断面の角を創製する際，Ti粒子を局所的に堆積させるための反射板の設置角度の違いによる形状変化について研究を行った．