精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会秋季大会
セッションID: M36
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焼鈍法による金属ナノドット凝集におけるドット寸法の制御因子
*吉野 雅彦山中 晃徳Li Zhenxing
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抄録
本稿では焼鈍法によるナノドット生成機構を系の自由エネルギーに基づき理論的に検討し、ドット寸法に影響する因子を明らかにし、その制御方法を考察する。
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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