リング型PZTアクチュエータの高機能化に関する研究

相澤 英一; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.91.0

抄録

著者らは流路部とポンプ部を一体化した中空管マイクロポンプを開発し，その有効性も確認しているが，流量増加のためにはアクチュエータであるリング型PZTの出力及び変位の増加が必要である．それ故，解析より変位の増加へのリング型PZTへの溝付加の有効性を確認しているが，溝部への応力集中によりPZTの損傷が懸念される．研究では，FEM解析により応力低減，出力増加，変位増加が可能な溝付加型リング型PZTの最良溝形状の探索を行った．

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