SiCへの超音波振動マイクロ穴加工における加工特性

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: M45

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主催: 公益社団法人精密工学会

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抄録

直径約300μｍのマイクロPCDドリルを製作し，それを用いてSiCに穴加工を行った．マイクロPCDドリルを用いたSiCへの穴加工において，超音波振動を援用した際の効果について明らかにした．工具の摩耗状態の違いなどはあるものの，加工精度への超音波振動の有無による違いはそれほど大きくはなかった．