高速超音波スピンドルによる硬脆材料の精密・微細研削に関する研究（第4報） 研削面の解析

神 雅彦; 藤家 広大; 金井 秀生; 湯原 正籍; 星野 誠; 和田 修; 磯 幸男

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.919.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: M46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.919.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

高速超音波スピンドルによる硬脆材料の精密・微細研削に関する研究（第4報）

研削面の解析

神雅彦, *藤家広大, 金井秀生, 湯原正籍, 星野誠, 和田修, 磯幸男

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キーワード: 研削, 超音波振動, 硬脆材料

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抄録

ジルコニア系セラミックスに対する超音波振動研削による研削効果に関して調べた．研削方法は，これまでの研究で開発した超音波スピンドルを用い，直径2mmのダイヤモンド砥粒電着砥石を用い，研削端面での溝研削を行なった．その結果，超音波振動の有無および砥粒粒度と研削面の表面状態との関係を明らかにすることができた．

責任著者(Corresponding author)

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