半導体の線幅標準に関する研究（第9報）

STEM画像を用いたレジスト形状の測定

抄録

レジストの高精度な測定，制御は製品の歩留り向上やコストの削減を可能とする．本研究では，金属コーティングをした半導体試料をSTEMにより撮影し，その画像を用いることで，半導体の線幅及び線形状の測定を行ってきた．本報では，同様の手法を用いて，レジスト形状の測定が可能であるかについて検討する．