MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第3報） ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合

水頭 正一郎; 清水 浩貴; 田丸 雄摩

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.973.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: N46

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.973.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第3報）

ピエゾ抵抗体の試作と製作プロセスの統合

*水頭正一郎, 清水浩貴, 田丸雄摩

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キーワード: MEMS, 片持ち梁, 多点法, ピエゾ抵抗体, 三点法

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抄録

本研究はMEMS技術を応用し，機械加工面の真直度測定に用いる3点法用センサデバイスを開発することを目的としている．前報までにセンサデバイスを探針部，回路部，外形部に分けて試作を進めてきた．本報では，回路部のピエゾ抵抗体の試作結果及び，これまで3つに分けて検討してきたプロセスを統合し，3点法用センサデバイスを試作するためのプロセスを検討した結果を示す．

責任著者(Corresponding author)

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