コントラストピークを用いたマイクロエンドミルの非接触位置検出法の開発（第４報）

パターン投影を用いたZ軸方向の刃先位置検出

抄録

本研究では，マイクロエンドミルのＺ軸方向の刃先位置検出に，コントラストのピーク位置を用いた方法を提案してきた．この方法は，工具の研削条痕といった粗面に対して有効であったが，コートされた工具の平滑な面に対応困難であった．本法では，投影したパターンを刃先位置に投影して，得られたパターンのコントラストによって刃先位置の検出を行った．その結果，平滑な面でも研削条痕と同等の繰り返し検出精度が得られることが確認できた．