レーザ回折を用いたマイクロ工具形状測定法に関する研究

矢島 裕一; 木村 景一; パナート カチョーンルンルアン; 鈴木 恵友

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1007.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: M14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1007.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

レーザ回折を用いたマイクロ工具形状測定法に関する研究

*矢島裕一, 木村景一, パナートカチョーンルンルアン, 鈴木恵友

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キーワード: 微小工具, 形状測定, 光回折, レーザ, 直径

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抄録

デジタル電子機器などの各種デバイスの小型化，高精度化を実現するために金型加工等において工作機機器，工具の高精度化，小径化が進んでいる．小径工具の形状計測は，従来から光学的計測法が広く使用されていたが測定分解能，測定精度ともに不十分であり新しい測定方法が求められていた．本研究では，光回折を用いた微小工具形状計測法において直径数10μmの微小工具形状計測の高精度化を実現する測定手法について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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