ナノインプリント技術の最新動向と実用化展開（キーノートスピーチ）

抄録

微細構造形成法として注目されているナノインプリント技術は、過去10年ほどの間に要素技術が蓄積され、光学デバイスや半導体デバイスへの応用検討が進んできた。そして最近、一部のデバイス製造工程への実用化も図られつつあり、ようやく本格的な実用化段階に入ってきた。本稿では、微細構造形成法として期待の高いナノインプリントに関して、最新の技術動向と、実用に向けての課題について述べる。