ナノインプリント技術を用いた回折格子作製とその応用

抄録

ナノインプリント技術を用いてマイクロエンコーダの回転回折格子スケールの作製を実現した。この技術により、回転回折格子スケールに形成した回折格子パターンの回転中心と回転軸を挿入する貫通穴中心を高精度に一致させることが可能となり、これまでの職人による回転格子スケールの芯出し作業を必要としなくなる。我々はナノインプリント回折格子の作製、その特性、またマイクロエンコーダを用いた応用について研究を行っている。