電流パルスによる圧電アクチュエータステージの変位制御

抄録

本研究では，電流パルスによる圧電アクチュエータの駆動を提案している．電圧駆動と比較してヒステリシスが小さくオープンループ制御が可能である．また，電流パルスの入力を最適化することで残留振動が低減できることがわかっている．本報では，オープンループ制御で電圧駆動と電流パルス駆動を用いてステージを駆動し，位置決め精度を比較することで，電流パルス駆動の有効性について述べる．