中空管マイクロポンプの高機能化を目的とした円筒型PZTアクチュエータの動的圧電解析

相澤 英一; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1127.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: O16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1127.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

中空管マイクロポンプの高機能化を目的とした円筒型PZTアクチュエータの動的圧電解析

*相澤英一, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 中空管マイクロポンプ, リング型PZT, FEM解析, 溝形状, 減衰, 変位量

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抄録

我々は流路部とポンプ部を一体化した中空管マイクロポンプを開発している．ポンプ内流量増加のためにはアクチュエータであるリング型PZTの変位量増加が必要である．静的解析よりリング型PZTへの溝付加が変位量の増加に有効だと確認されているが，動的解析においては実験結果との整合性が取れていない．従って本研究では，減衰を考慮した動的圧電弾性解析を行い，溝付加型リング型PZTの変位量向上が可能な溝形状の探索を行った．

責任著者(Corresponding author)

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