進行波を利用した非接触流体軸受に関する研究

モジュール式の進行波圧電アクチュエータ及び精密スライダの開発

抄録

本研究では，進行波を利用した新たな非接触流体軸受を提案している．本軸受は，軸受面上に発生させた進行波によって軸受中心に向かう力を流体に与えることで，軸受隙間内の圧力を上昇させ非接触支持を実現する．本報では，装置の製作性と性能を向上させるためにモジュール化した進行波圧電アクチュエータを開発し，そのアクチュエータを用いた軸受の開発・評価を行う．また本軸受を用いた精密スライダの開発を目指す．