多重配置した中性子集光用楕円面スーパーミラーデバイスの開発

4枚の1mm厚ミラー基板のアライメント機構

抄録

中性子の集光ゲイン増大のために非球面スーパーミラーを多重化する場合、吸収損失を抑制するには1 mm程度の基板厚さが要求される。我々はNC-LWEによる形状創成とイオンビームスパッタによる多層膜成膜を組み合わせることで、サブミクロンレベルの形状精度を有した薄型楕円面スーパーミラーの作製に成功している。本報では、作製した4枚の1 mm厚さのミラー基板をミクロンレベルで配置するためのアライメント機構について報告する。