中性子集光用回転楕円ミラーの作製 第III報

小径パッドを用いた回転体石英マンドレルの形状修正と表面仕上げ

抄録

大きな発散角を有する中性子ビームを大強度かつ高効率に試料へと集光するため、多重回転体スーパーミラーの開発が求められている。我々は、高精度な自立型回転体スーパーミラーを作製するため母型に石英基盤を用いたレプリカ法を提案している。本研究では、球面パッドを用いた修正研磨による形状創成と平面パッドを用いた低圧研磨による表面粗さ改善を組み合わせた高精度回転体石英マンドレルの作製プロセスについて述べる。