計算科学シミュレーションを用いたCeO₂砥粒によるガラス研磨の化学反応機構の解析

抄録

CeO₂砥粒はガラス材の研磨に用いられているが、輸出制限などの影響で代替砥粒開発が急がれており、その開発方針を得るためには電子・原子レベルで研磨メカニズムを解明する必要がある。そこで本研究では分子動力学法や第一原理計算を用いてCeO₂砥粒によるSiO₂表面の研磨シミュレーションを行い、研磨による表面の構造変化や研磨プロセスにおける化学反応について解析し、ガラスの研磨のメカニズムについて検討した。