集束イオンビームによる小径工具の加工とその効果

三浦 浩一; 佐藤 翔; 山田 高三; 李 和樹; 大谷 祐輔; 安西 貞司

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.211.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: C18

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.211.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

集束イオンビームによる小径工具の加工とその効果

三浦浩一, *佐藤翔, 山田高三, 李和樹, 大谷祐輔, 安西貞司

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キーワード: 集束イオンビーム, 小径工具, 穴加工, 微細加工

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抄録

近年，機械部品の小型化に伴い工具の微細化が求められてきている．現在では直径が1/100ｍｍ程度の工具は機械加工によって製造されているが，1/1000mm以下となると，その製造は難しい．本研究はこのような背景に基づいて，現状で最も小さい単位で加工できると考えられる集束イオンビームを用いて，小径ドリルの刃先に追加工を施すことで切削性を向上させることができるか実験的に検討している．

責任著者(Corresponding author)

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