精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: A17
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ガス電子増幅器における電極基材の検討
*若林 正毅小宮 一毅藤原 康平小林 丈士
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キーワード: 微細加工, レーザ加工, 成膜
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抄録
ガス電子増幅器は荷電粒子を捕らえるためのセンサの一種であり,X線や中性子の検出が可能であることから,放射線医療分野や非破壊検査などへの応用が期待されている.しかし,従来品は使用中にセンサ部が破損したり,ガス増幅率が次第に低下するケースがあり,センサ部の信頼性向上が課題となっている.増幅器の電極シートには,フレキシブル基板用のポリイミドやLCPが用いられているが,どのような基材が電極として最適か十分に検討されていないのが現状である.そこで本報では,ポリイミドやLCP以外の材料について電極シートが作製可能かどうか検討したので報告する.
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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