多層構造静電アクチュエータの摩擦特性切換え機能と超精密位置決め

佐藤 海二; Md Ghazaly Mariam

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.275.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: C78

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.275.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

多層構造静電アクチュエータの摩擦特性切換え機能と超精密位置決め

*佐藤海二, Md Ghazaly Mariam

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キーワード: 位置決め, 静電アクチュエータ, 多層, 潤滑油, 保持力, 摩擦

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抄録

多層構造静電アクチュエータで，潤滑油のみで層間を支持する構造を採用すると，その摩擦特性は駆動信号の影響を大きく受ける．この性質を利用すれば，低摩擦特性下で広い動作範囲と高応答性，高摩擦特性下で大きな保持力と精密動作の両立，という2種類の特性を付加機構なしで実現可能となる．本論文では，これらの特性を実現，切換えるための駆動信号を明らかにし，その駆動信号を用いた超精密位置決め結果について説明している．

責任著者(Corresponding author)

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