レーザ誘導方式深穴形状精度測定システムの開発

姿勢制御用アクチュエータと穴形状の関連

抄録

測定プローブの姿勢を制御するアクチュエータは、測定する深穴の直径、形状、深さ等によってパワー、形状、配置を変える必要が生じる。本研究ではストロークの大きい機械的アクチュエータ、および小径化する際の対策に関して検討する。