滞留性を改善した高性能ラッピング砥粒の開発

村田 順二; 谷 泰弘; 澤井 貴行; 張 宇; 李 承福; 桐野 宙治

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.289.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: D03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.289.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

滞留性を改善した高性能ラッピング砥粒の開発

*村田順二, 谷泰弘, 澤井貴行, 張宇, 李承福, 桐野宙治

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キーワード: ラッピング, 砥粒, 滞留性

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抄録

ラッピングに用いられる炭化珪素やアルミナ砥粒の滞留性を向上した高機能砥粒の開発を行った．これらの砥粒に対し比重の大きな粒子を添加することにより，砥粒の動きが妨げることにより滞留性の向上を図った．添加する粒子の材質や粒径，濃度などの検討を行った．開発した砥粒を用いソーダガラスのラップ加工を行った結果，通常の砥粒と比較して50％以上の研磨能率の向上が確認された．

責任著者(Corresponding author)

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