複合砥粒の滞留性改善による研磨特性向上

抄録

砥粒をポリマ粒子表面に付着した複合砥粒を用いた研磨は、砥粒のみの従来研磨に比べて優れた研磨特性を持つ。しかし、製作時にポリマ微粒子に付着しなかった砥粒は加工後の洗浄性に悪影響を与えることが分かった。そこで、遊離している砥粒を取り除く作業である分級を行った。分級した複合砥粒では研磨特性が低下する傾向を示したが、比重の大きな別の粒子を添加し、滞留性を向上させることで研磨特性が改善された。