多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの温度特性の改善

抄録

ガラス研磨における酸化セリウム砥粒の使用量低減を目的として多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発を行っている。エポキシ樹脂研磨パッドにより従来のウレタン樹脂研磨パッドに比べて優れた研磨能率と仕上げ面粗さが得られる。しかし使用温度により硬度等の機械的物性値が変化し研磨特性が悪化する問題がある。本研究では樹脂の種類や硬化条件等の検討を行い温度特性を改善したエポキシ樹脂研磨パッドを開発し研磨特性を評価した。