ガラス系材料用研磨スラリーの分散・凝集状態と研磨パッド表面の組み合わせの研磨能率への影響ついて

抄録

ガラス系材料用研磨スラリーに対し，分散剤を用いセリア砥粒の分散・凝集特性を制御することが可能である．制御された分散・凝集状態と研磨特性の実験結果をもとに，分散・凝集状態と研磨パッド表面状態との組み合わせによる研磨能率への影響並びにガラス系材料の研磨メカニズムを考察した．