ガラス研磨における酸化セリウムの代替砥粒開発

抄録

通常ガラス研磨には，高品位仕上げ面や高い研磨能率が得られることから酸化セリウム砥粒が広く用いられている．その砥粒の金属成分がセリウムであり，代表的な希土類金属の一つであるため，酸化セリウム砥粒の使用量低減技術やその代替砥粒の開発が強く要望されている．本研究は，酸化ジルコニウム砥粒に着目し，従来の酸化セリウム砥粒に対し，酸化ジルコニウム砥粒を用いて研磨特性を調べた．その結果について報告する．