スケルトン両面研磨機における試料挙動の解明

抄録

本研究では、両面研磨機を用いた場合の研磨加工中の様子を撮影・観察し、試料の回転や位置変化などの挙動を解析する。また、観察を可能にするための装置として本研究室で製作された研磨機を用いる。本装置では定盤に透明なアクリル材料を用いることで、試料の挙動を内部に設置したカメラで撮影することが可能である。試料の挙動の解析には画像処理ライブラリのOpenCVを用い、様々な加工条件での試料の挙動解析を行った。