研磨パッドの表面状態に着目した高能率研磨加工に関する研究

抄録

昨今のハードディスクドライブ（HDD）の市場拡大にともない，HDDに搭載される磁気ディスクの低価格化が強く望まれている．そのため，磁気ディスクガラス基板の研磨加工に対して，極めて高い加工能率が求められるようになった．そこで本研究では，スエード研磨パッドの表面状態に着目し，加工能率に影響を及ぼす要因を検討した．その結果，ガラス基板を高能率で研磨加工することができたので報告する．