飽和溶液中でのレーザ照射によるKDP単結晶の溶解を利用した表面研磨加工

古川 辰紀; 中本 剛

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.31.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: A21

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.31.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

飽和溶液中でのレーザ照射によるKDP単結晶の溶解を利用した表面研磨加工

*古川辰紀, 中本剛

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キーワード: YAGレーザ, 表面研磨, 表面粗さ, KDP単結晶, 溶解, 飽和溶液

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抄録

本研究ではレーザによって，水溶性単結晶を飽和水溶液中で加工する方法を提案する．加工対象として，KDP（リン酸二水素カリウム）を選定し，これを飽和溶液中に入れてYAGレーザビームを照射する．レーザビームからの熱で，加工点近傍の溶液の温度が上昇し，これにより溶解度が増加して，結晶が溶出することによって結晶表面を研磨加工する．この加工によって得られた表面粗さを測定した．

責任著者(Corresponding author)

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