PZT用のAu-Pt複合バッファ層における結晶成長に関する研究

滝田 力也; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.363.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: E05

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.363.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

PZT用のAu-Pt複合バッファ層における結晶成長に関する研究

*滝田力也, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: PZT, バッファ層, ECRスパッタリング

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抄録

本研究はAu(111)とPt(111)が交互に配列をしたバッファ層を創製することにより，高圧電性を示すPZT(111)とPZT(110)が交互に配列をしたPZT薄膜創製を行う．そこでAu(111)とPt(111)以外のピーク強度を減少させることにより，高機能なバッファ層の創製を目的とする．本報告はHFを使用しAu(111)とPt(111)のみが配列したAu-Ptバッファ層の創製を行う．

責任著者(Corresponding author)

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