量子分子動力学法による窒化炭素膜のトライボケミカル反応シミュレーション

抄録

MEMSに代表される近年の超精密デバイスはサイズが微少であり、液体や固体を用いた従来の潤滑方法で摩擦を低減させることは困難であるため、これらの超精密機器に用いることができる新しい潤滑方法が必要である。そこで近年注目されているのが窒化炭素膜（CNx膜）による窒素ガス潤滑である。本研究ではCNx膜の摩擦シミュレーションを行い、摩擦低減メカニズムの解析及び検討を行った。