無酸素銅材の表面に及ぼすNa2SO4電解酸化水の影響

佐藤 運海; 竹ノ内 敏一; 川久保 英樹

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.395.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: E26

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.395.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

無酸素銅材の表面に及ぼすNa₂SO₄電解酸化水の影響

*佐藤運海, 竹ノ内敏一, 川久保英樹

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キーワード: 電解酸化水, 無酸素銅材, エッチング性能, 表面形状, 化学組成

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抄録

本研究は，無酸素銅材の表面に及ぼすNa₂SO₄電解酸化水の影響の解明に関するものである．本研究によって，つぎのことを明らかにした．Na₂SO₄電解酸化水は，無酸素銅材に対するエッチング作用が，NaCl電解酸化水と比べ弱いが，化学薬液と比べ強い．Na₂SO₄電解酸化水はNaCl電解酸化水と異なり，無酸素銅材の表面形状に大きな影響を与えなく，無酸素銅材の表面において，塩化銅などの異物が発生しない．

責任著者(Corresponding author)

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