AFMによる銅スパッタ膜のナノ加工における切りくず生成機構

吉田 拓人; 市田 良夫; 佐藤 隆之介; 上野 秀雄

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.41.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: A27

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.41.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

AFMによる銅スパッタ膜のナノ加工における切りくず生成機構

*吉田拓人, 市田良夫, 佐藤隆之介, 上野秀雄

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キーワード: ナノマシニング, 原子間力顕微鏡, 切りくず生成機構, 銅スパッタ膜

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抄録

本研究は，原子間力顕微鏡を用いた銅スパッタ膜のナノスケール加工における切りくず生成及び材料除去のメカニズムについて検討したものである．Si探針先端を加工用切れ刃として用いた場合，切れ刃に作用する法線力が8～12μNを超えるとナノスケールサイズの切りくずが安定して生成されるようになることを確認し，さらにFE-SEMによる微視的観察などからナノスケール切りくずの生成挙動を明らかにした．

責任著者(Corresponding author)

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