大面積薄肉パネルを測定対象とした形状測定方法の検討

抄録

近年世界的に直径450mmウェーハの開発は始まっているが，明確な測定方法や反りと板厚に関する規格は定められていない．しかし，ウェーハの反りの大きさは板厚に依存するため，直径450mmウェーハに対しても測定方法の早急な開発が望まれる．そこで本研究では，筆者らが直径300mmウェーハの高精度形状測定方法として開発した三点支持裏返し法を応用することによる，直径450mmウェーハの形状測定方法を検討する．