大型非球面形状のナノメートル測定（第六報）

走査法を用いた凹面ミラーの三次元測定

抄録

近年，大型非球面レンズやミラーの表面を高精度で測る要求が生じている．本研究では，最大傾斜10°程度の滑らか表面の非球面を精度10nmで測ることを目指し，回転ステージと角度センサを用いた新たな走査測定手法を提案してきた．本報では，提案した手法によるレンズの直径方向の測定を組み合わせることで，レンズの三次元形状の測定を行う．測定手法を三次元に拡張したときに生じる誤差と，その校正方法について検討する．