ウエハ表面のナノレベル欠陥検出向け接触型マイクロ熱検知センサの原理検討

抄録

次世代の半導体・LEDウェハ表面に要求される微小欠陥検出実現のため，熱検知型マイクロ接触センサによる，全く新しいウェハ上微小欠陥検出のコンセプトを提案する．提案の手法では，軽微な接触によって発生する極小摩擦熱を，熱検知素子抵抗値の変化に変換してウェハ表面上の微小突起を検出する．本報では，簡易モデル及びFEMモデルによる原理検証計算により提案の手法の実現可能性について検討した結果について述べる．