光学式の表面性状測定機を対象とした短波長測定限界に関する一考察

抄録

様々な原理,方式の光学式表面性状測定機が普及している。異なる測定機間の測定結果を比較するためには,解析の対象とした表面波長帯を把握しておくことが重要であるが,市販の測定機は短波長域の測定限界が必ずしも明確ではない。そこで,本研究では光学式表面性状測定機の短波長域の測定限界を明確にするための新たな標準片を開発し,この標準片の測定結果から各種測定機の測定限界を求める手順について考察した。