Siウエハの計測評価技術におけるノイズフィルタに関する研究

Total variationを用いたフィルタ設計

抄録

半導体材料であるウエハの平坦化の要求が高くなっており，それに伴い計測技術も高精度化が求められている．しかし，計測にはノイズが必ず発生するため，本研究ではノイズ除去のためのフィルタ設計の研究を行ってきた．本報告では，トータルバリエーションを用いた新たなフィルタの設計について提案し，そのノイズ除去性能結果について報告する．