精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: F64
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超低膨張セラミックスNEXCERAの長期安定性
*高橋 顕
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抄録
超低熱膨張セラミックNEXCERA製と合成石英製の標準尺を製作して、13ヶ月にわたって長さの長期安定性を測定した。測定に使用した装置はニコンが開発した標準尺測定機である。NEXCERAは材料の長期安定性を評価するために、長期的に安定である合成石英は測定装置と手順が安定であることを確認するために用いた。その結果NEXCERAの安定性 4.6 nm (2σ)が得られた。これは推定した測定誤差以内であり、NEXCERA製の標準尺の長さに有意な経年変化は見られなかった。
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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