半導体の線幅標準に関する研究（第８報）

金属コーティング法における不確かさの検討

抄録

半導体産業において，製品の計測と評価は重要であり，回路線幅は基本的な計測対象である．本研究では，微細化した製品のスケールに対応する線幅測定の標準を確立することを目指している．前報では，金属コーティングを施したSi画像を利用するという新たな境界決定法を提案した．本報では，この境界決定法における不確かさの評価を行う．