AFM（原子間力顕微鏡）用較正デバイスの研究

抄録

AFM（原子間力顕微鏡）の較正方法には，標準試験片を用いる方法と超精密ステージを用いる方法がある．しかし，これらの方法では大掛かりで複雑な装置を必要とし，測定条件によってAFM像がずれてしまう危険性があった．本研究では弾性ヒンジを用いて，較正面を±30μｍの一定の振幅が振動させることができる新しい較正デバイスを考案したので，これについて報告する．