MEMSアクチュエータ用薄膜ポリイミドダイアフラムの駆動法と変位特性

抄録

薄膜ポリイミドダイアフラムをMEMSアクチュエータとして用いるために機械的特性を検討した。アクチュエータとしてダイアフラムを使用するために2つの駆動方式を選択した。通電加熱による熱膨張と気液相変化による体積膨張である。前者では電流を制御することでアクチュエータとして機能することを確認した。後者ではダイアフラム部にパラフィンを閉じ込めた後加熱により気化させた。それぞれ数10[μm]の変位が得られた。